Elaboration et caractérisation de technologies ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Elaboration et caractérisation de technologies microsystèmes avancées : structures d'actionnement tridimensionnelles et résonateurs électromécaniques à entrefer latéral nanométrique
Auteur(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2002
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :