Reactive ion beam etching of PZT thin films

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Reactive ion beam etching of PZT thin films
Author(s) :
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Journal title :
Ferroelectrics
Pages :
253-263
Publisher :
Taylor & Francis: STM, Behavioural Science and Public Health Titles
Publication date :
2003
ISSN :
0015-0193
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL