Fiabilité des microstructures en polysilicium ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ
Author(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Conference title :
16ème Congrès Francais de Mécanique
City :
Nice
Country :
France
Start date of the conference :
2003
Publication date :
2003
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL