Modeling and experimental validation of ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes: Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/53342
Title :
Modeling and experimental validation of silicon nanotip oxidation : towards a nanoelectromechanical filter application
Author(s) :
Agache, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bigotte, P. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Senez, V. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Start date of the conference :
2003
Book title :
Proceedings of the 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS'03
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2003
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T22:23:21Z