Microelectromechanical coupled resonsator ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Microelectromechanical coupled resonsator IF filters with variable bandwidth in thick-film epitaxial polysilicon technology
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]

Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Start date of the conference :
2003
Book title :
Proceedings of the 4th Workshop on MEMS for Millimeterwave Communications, MEMSWAVE 2003
Publisher :
Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Toulouse, France
Publication date :
2003
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :