Performance of Pt-based low Schottky barrier ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Performance of Pt-based low Schottky barrier silicide contacts on weakly doped silicon
Auteur(s) :
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Wallart, Xavier [Auteur] refId
Date de début de la manifestation scientifique :
2003
Titre de l’ouvrage :
Materials Research Society Symposium Proceedings, 765
Éditeur :
Materials Research Society, Warrendale, PA, USA
Date de publication :
2003
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL