Title :

Electron microscopy analysis of MOSFET structures

Author(s) :

Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Laszcz, A. [Auteur]
Phillipp, F. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, Guilhem [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Baie, Xavier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tang, Xiaohui [Auteur]
University College of London [London] [UCL]

Conference title :

IEEE 6th Symposium Diagnostics and Yield 2003

City :

Warsaw

Country :

Pologne

Start date of the conference :

2003-06-22

Book title :

Proceedings of the 6th Symposium Diagnostics & Yield : Advanced Silicon Devices and Technologies for ULSI Era, D&Y 2003

Publisher :

Institute of Microelectronics & Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Poland

Publication date :

2003

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL