Electron microscopy analysis of MOSFET structures
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Electron microscopy analysis of MOSFET structures
Author(s) :
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Laszcz, A. [Auteur]
Phillipp, F. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, Guilhem [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Baie, Xavier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tang, Xiaohui [Auteur]
University College of London [London] [UCL]
Ratajczak, J. [Auteur]
Laszcz, A. [Auteur]
Phillipp, F. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, Guilhem [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Baie, Xavier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tang, Xiaohui [Auteur]
University College of London [London] [UCL]
Conference title :
IEEE 6th Symposium Diagnostics and Yield 2003
City :
Warsaw
Country :
Pologne
Start date of the conference :
2003-06-22
Book title :
Proceedings of the 6th Symposium Diagnostics & Yield : Advanced Silicon Devices and Technologies for ULSI Era, D&Y 2003
Publisher :
Institute of Microelectronics & Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Poland
Publication date :
2003
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :