Détermination des paramètres limitant la ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Détermination des paramètres limitant la montée des MOSFETs sub-100nm
Author(s) :
Vanmackelberg, M. [Auteur]
Lepilliet, Sylvie [Auteur]
Raynaud, C. [Auteur]
Dehan, M. [Auteur]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lepilliet, Sylvie [Auteur]
Raynaud, C. [Auteur]
Dehan, M. [Auteur]
Dambrine, Gilles [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Start date of the conference :
2003
Book title :
Actes des 13èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2003
Publisher :
Institut d'Electronique, Microélectronique et Nanotechnologie, Villeneuve d'Ascq, France
Publication date :
2003
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :