Titre :

A novel approach using picosecond ultrasonics at variable laser-wavelength for the characterization of AlN films used for microsystem applications

Auteur(s) :

Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Caruyer, G. [Auteur]
Zinck, C. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]

Date de début de la manifestation scientifique :

2003

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of the 5th World Congress on Ultrasonics, WCU 2003

Éditeur :

Laboratoire Ondes et Acoustique, Paris, France

Date de publication :

2003

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL