Optimization of HSQ resist e-beam processing ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Optimization of HSQ resist e-beam processing technique on GaAs material
Author(s) :
Lauvernier, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Francois, M. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Journal title :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pages :
177-182
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2004
ISSN :
0167-9317
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL