Optimization of HSQ resist e-beam processing ...

Type de document :
Article dans une revue scientifique
Titre :
Optimization of HSQ resist e-beam processing technique on GaAs material
Auteur(s) :
Lauvernier, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Francois, M. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Titre de la revue :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pagination :
177-182
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2004
ISSN :
0167-9317
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL