Transmission Electron Microscopy analysis ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Transmission Electron Microscopy analysis of MOSFET structures
Author(s) :
Laszcz, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur] refId
Tang, Xing [Auteur]
Conference title :
School on Materials Science and Electron Microscopy, Emerging Microscopy for Advanced Materials Development-Imaging and Spectroscopy on Atomic Scale
City :
Berlin
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
2004
Publication date :
2004
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL