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Depth dependence of defect evolution and ...
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Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Depth dependence of defect evolution and TED during annealing
Author(s) :
Colombeau, B. [Auteur]
Cowern, N.E.B. [Auteur]
Cristiano, Fuccio [Auteur]
Calvo, P. [Auteur]
Lamrani, Y. [Auteur]
Cherkashin, Nikolay [Auteur]
Lampin, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Claverie, Alain [Auteur]
Journal title :
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Pages :
90-94
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2004
ISSN :
0168-583X
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
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