Title :

Depth dependence of defect evolution and TED during annealing

Author(s) :

Colombeau, B. [Auteur]
Cowern, N.E.B. [Auteur]
Cristiano, Fuccio [Auteur]
Calvo, P. [Auteur]
Lamrani, Y. [Auteur]
Cherkashin, Nikolay [Auteur]
Lampin, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Claverie, Alain [Auteur]

Journal title :

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

Pages :

90-94

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2004

ISSN :

0168-583X

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL