Design of silicon-pTMDS bioMEMS by cold RPECVD

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Design of silicon-pTMDS bioMEMS by cold RPECVD
Auteur(s) :
Bocquet, Bertrand [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
BOURZGUI, Nour-Eddine [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guhel, Yannick [Auteur]
Mille, Vianney [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Nonimaging Optics and Efficient Illumination Systems
Ville :
Denver, CO
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2004-08-02
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 5345
Éditeur :
SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA
Date de publication :
2004
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL