Conception de microsystèmes à base ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Conception de microsystèmes à base d'actionneurs en SU8 pour la manipulation de micro-objets en milieu liquide et transfert vers un milieu quasi-sec
Author(s) :
Lagouge, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2006
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :