Ion beam etching of PZT thin films : ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Ion beam etching of PZT thin films : influence of grain size on the damages induced
Auteur(s) :
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Titre de la revue :
JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY
Pagination :
2269-2272
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2005
ISSN :
0955-2219
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :