Titre :

Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMs applications

Auteur(s) :

Delobelle, P. [Auteur]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Guillon, O. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]

Date de début de la manifestation scientifique :

2005

Titre de l’ouvrage :

Integrated Ferroelectrics, 69

Éditeur :

Gordon & Breach, The Netherlands

Date de publication :

2005

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL