Thin film in-plane actuator : assessment of monolayer and bilayer mechanical output

Type de document :

Compte-rendu et recension critique d'ouvrage

Titre :

Auteur(s) :

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]

Dupont, M. [Auteur]
Osmont, D. [Auteur]

Titre de la revue :

Journal de Physique IV Proceedings

Pagination :

113-116

Éditeur :

EDP Sciences

Date de publication :

2005

ISSN :

1155-4339

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

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