Thin film in-plane actuator : assessment ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Thin film in-plane actuator : assessment of monolayer and bilayer mechanical output
Author(s) :
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Dupont, M. [Auteur]
Osmont, D. [Auteur]
Journal title :
Journal de Physique IV Proceedings
Pages :
113-116
Publisher :
EDP Sciences
Publication date :
2005
ISSN :
1155-4339
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL