Determination of the d31 piezoelectric ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
Titre :
Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PbZrxTi1−xO3 thin films using multilayer buckled micromembranes
Auteur(s) :
Ayela, Cédric [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bergaud, C. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bergaud, C. [Auteur]
Éditeur :
American Institute of Physics
Date de publication :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Date de dépôt :
2021-07-27T23:20:16Z