Parallel-plate electrostatic actuators in ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Parallel-plate electrostatic actuators in liquids : displacement-voltage optimisation for microfluidic applications
Author(s) :
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rollier, A.S. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Start date of the conference :
2006
Book title :
Proceedings of the 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2006
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL