Compensation by design of thermal dilatation ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Compensation by design of thermal dilatation in RF MEMS switches
Author(s) :
Duong, Q.H. [Auteur]
Lafontan, X. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Schmitt, P. [Auteur]
Pons, Patrick [Auteur]
Flourens, F. [Auteur]
Pressecq, F. [Auteur]
Lafontan, X. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Schmitt, P. [Auteur]
Pons, Patrick [Auteur]
Flourens, F. [Auteur]
Pressecq, F. [Auteur]
Start date of the conference :
2005
Book title :
Proceedings of the 2005 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2005
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :