Fabrication and optimization of bimorph ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/54308
Title :
Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells
Author(s) :
Cho, Y.H. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 [IEMN]
Conseil, F. [Auteur]
Kim, B.J. [Auteur]
Publisher :
Springer Verlag
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T23:25:40Z