Title :

Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells

Author(s) :

Cho, Y.H. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conseil, F. [Auteur]
Kim, B.J. [Auteur]

Journal title :

Microsystem Technologies

Pages :

30-37

Publisher :

Springer Verlag

Publication date :

2005

ISSN :

0946-7076

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL