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Fabrication and optimization of bimorph ...
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Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells
Author(s) :
Cho, Y.H. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conseil, F. [Auteur]
Kim, B.J. [Auteur]
Journal title :
Microsystem Technologies
Pages :
30-37
Publisher :
Springer Verlag
Publication date :
2005
ISSN :
0946-7076
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
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