Realization of sub-micron patterns on GaAs ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Realization of sub-micron patterns on GaAs using a HSQ etching mask
Author(s) :
Lauvernier, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Garidel, S. [Auteur]
Legrand, C. [Auteur]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Garidel, S. [Auteur]
Legrand, C. [Auteur]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Journal title :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pages :
210-216
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2005
ISSN :
0167-9317
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :