Titre :

MEMS reliability : metrology set-up for investigation of fatigue causes

Auteur(s) :

Millet, O. [Auteur]
Blanrue, O. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Date de début de la manifestation scientifique :

2005

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of the 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2005

Éditeur :

IEEE, Piscataway, NJ, USA

Date de publication :

2005

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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