Titre :

Microtechnologies des systèmes millimétriques et submillimétriques

Auteur(s) :

Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Salzenstein, Patrice [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carbonell, Jorge [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Actes de la 2e Journée Nationale Microtechnologies, Villeneuve d'Ascq, 27 Mars 1995

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

1995

Date de publication :

1995

Langue :

Français

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Commentaire :

E. Lheurette, P. Salzenstein et J. Carbonell, "Microtechnologies des systèmes millimétriques et submillimétriques", 2e Journée Nationale Microtechnologies, Villeneuve d'Ascq, 27 Mars 1995

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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