Title :

Determination by nanoindentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMS applications

Author(s) :

Delobelle, Patrick [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Guillon, Olivier [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Soyer, S. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]

Journal title :

Integr. Ferroelectrics

Pages :

pp. 213-221

Publication date :

2005

HAL domain(s) :

Physique [physics]/Mécanique [physics]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL