Titre :

Wireless drive of a MEMS ciliary motion actuator via coupled magnetic resonances using micro inductors

Auteur(s) :

Sakamoto, N. [Auteur]
The University of Tokyo [UTokyo]
Frappe, Antoine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Stefanelli, Bruno [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mita, Y. [Auteur]
The University of Tokyo [UTokyo]

Titre de la manifestation scientifique :

TRANSDUCERS 2015 - 2015 18th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference

Ville :

Anchorage

Pays :

Etats-Unis d'Amérique

Date de début de la manifestation scientifique :

2015-06-21

Éditeur :

IEEE

Date de publication :

2015

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Smart Blocks : une surface modulaire et reconfigurable composée de MEMS pour le transport rapide d'objets fragiles et de produits pharmaceutiques

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL