Vibrational response of a piezoelectric ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
Title :
Vibrational response of a piezoelectric MEMS resonator disc metallized with alternating electrical source
Author(s) :
Naciri, Ismail [Auteur]
Rguiti, Abdessamad [Auteur]
Belkassmi, Youssef [Auteur]
Elmaimouni, Lahoucine [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ratolojanahary, Faniry [Auteur]
Krit, Salahddine [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rguiti, Abdessamad [Auteur]
Belkassmi, Youssef [Auteur]
Elmaimouni, Lahoucine [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ratolojanahary, Faniry [Auteur]
Krit, Salahddine [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur]

Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
4th International Conference on Engineering and MIS 2018, ICEMIS 2018, Session 6 - Applied Engineering and Energy
City :
Istanbul
Country :
Turquie
Start date of the conference :
2018-06-19
Book title :
ACM Int. Conf. Proc. Ser. (2018) 69, 6 pages, ISBN 978-1-4503-6392-1
Publisher :
ACM Press
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
English abstract : [en]
This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such ...
Show more >This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such method is based on solving coupled governing equations of motion and characteristic equations of piezoelectricity. The Formulation is simple to implement and consist of decomposing the mechanical and electrical displacement fields in a double series of Legendre polynomial basis. With a single calculation, the method is able to restitute the electro-optic behavior of the MEMS resonators including resonance and anti resonance frequencies, electrical admittance, dispersion profiles and electromechanical coefficient for all mode orders.Show less >
Show more >This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such method is based on solving coupled governing equations of motion and characteristic equations of piezoelectricity. The Formulation is simple to implement and consist of decomposing the mechanical and electrical displacement fields in a double series of Legendre polynomial basis. With a single calculation, the method is able to restitute the electro-optic behavior of the MEMS resonators including resonance and anti resonance frequencies, electrical admittance, dispersion profiles and electromechanical coefficient for all mode orders.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :