Vibrational response of a piezoelectric ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
Titre :
Vibrational response of a piezoelectric MEMS resonator disc metallized with alternating electrical source
Auteur(s) :
Naciri, Ismail [Auteur]
Rguiti, Abdessamad [Auteur]
Belkassmi, Youssef [Auteur]
Elmaimouni, Lahoucine [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Ratolojanahary, Faniry [Auteur]
Krit, Salahddine [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Rguiti, Abdessamad [Auteur]
Belkassmi, Youssef [Auteur]
Elmaimouni, Lahoucine [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Ratolojanahary, Faniry [Auteur]
Krit, Salahddine [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
4th International Conference on Engineering and MIS 2018, ICEMIS 2018, Session 6 - Applied Engineering and Energy
Ville :
Istanbul
Pays :
Turquie
Date de début de la manifestation scientifique :
2018-06-19
Titre de l’ouvrage :
ACM Int. Conf. Proc. Ser. (2018) 69, 6 pages, ISBN 978-1-4503-6392-1
Éditeur :
ACM Press
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Résumé en anglais : [en]
This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such ...
Lire la suite >This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such method is based on solving coupled governing equations of motion and characteristic equations of piezoelectricity. The Formulation is simple to implement and consist of decomposing the mechanical and electrical displacement fields in a double series of Legendre polynomial basis. With a single calculation, the method is able to restitute the electro-optic behavior of the MEMS resonators including resonance and anti resonance frequencies, electrical admittance, dispersion profiles and electromechanical coefficient for all mode orders.Lire moins >
Lire la suite >This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such method is based on solving coupled governing equations of motion and characteristic equations of piezoelectricity. The Formulation is simple to implement and consist of decomposing the mechanical and electrical displacement fields in a double series of Legendre polynomial basis. With a single calculation, the method is able to restitute the electro-optic behavior of the MEMS resonators including resonance and anti resonance frequencies, electrical admittance, dispersion profiles and electromechanical coefficient for all mode orders.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Source :