Titre :

Vibrational response of a piezoelectric MEMS resonator disc metallized with alternating electrical source

Auteur(s) :

Naciri, Ismail [Auteur]
Rguiti, Abdessamad. [Auteur]
Belkassmi, Youssef. [Auteur]
Elmaimouni, Lahoucine. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ratolojanahary, Faniry [Auteur]
Krit, Salahddine. [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

4th International Conference on Engineering and MIS 2018, ICEMIS 2018, Session 6 - Applied Engineering and Energy

Ville :

Istanbul

Pays :

Turquie

Date de début de la manifestation scientifique :

2018-06-19

Titre de l’ouvrage :

ACM Int. Conf. Proc. Ser. (2018) 69, 6 pages, ISBN 978-1-4503-6392-1

Éditeur :

ACM Press

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such ...
Lire la suite >This paper presents a study of vibrational behavior of a piezoelectric MEMS resonator disc partially metalized with electrical source in case of partial centralized metallization using Legendre polynomial method. Such method is based on solving coupled governing equations of motion and characteristic equations of piezoelectricity. The Formulation is simple to implement and consist of decomposing the mechanical and electrical displacement fields in a double series of Legendre polynomial basis. With a single calculation, the method is able to restitute the electro-optic behavior of the MEMS resonators including resonance and anti resonance frequencies, electrical admittance, dispersion profiles and electromechanical coefficient for all mode orders.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL

Date de dépôt :

2021-12-24T05:01:11Z