Titre :

Spatial resolution enhancement of near field microwave microscope

Auteur(s) :

Gu, S. [Auteur]
Microtechnology and Instrumentation for Thermal and Electromagnetic Characterization - IEMN [MITEC - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lin, Tianjun [Auteur]
Microtechnology and Instrumentation for Thermal and Electromagnetic Characterization - IEMN [MITEC - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lasri, T. [Auteur]
Microtechnology and Instrumentation for Thermal and Electromagnetic Characterization - IEMN [MITEC - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

46th European Microwave Conference, EuMC 2016

Ville :

London

Pays :

Royaume-Uni

Date de début de la manifestation scientifique :

2016-10-04

Éditeur :

Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

Date de publication :

2016

Mot(s)-clé(s) en anglais :

2D imaging
Evanescent microwave probe
Near-field scanning microwave microscope
Spatial resolution

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

A near-field scanning microwave microscope based on an interferometric technique is proposed in this work. To ensure an optimal spatial resolution, crucial parameters of the evanescent microwave probe are finely studied ...
Lire la suite >A near-field scanning microwave microscope based on an interferometric technique is proposed in this work. To ensure an optimal spatial resolution, crucial parameters of the evanescent microwave probe are finely studied including the tip apex, the stand-off distance and the scanning step size. © 2016 EuMA.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL