Titre :

Nanostructures wetting evaluation using ultra high frequency ultrasound

Auteur(s) :

Salhab, Abbas [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Toubal, Malika [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Neyens, Marc [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

SPIE OPTO conference 12002, Oxide-based Materials and Devices XIII

Ville :

San Francisco

Pays :

Etats-Unis d'Amérique

Date de début de la manifestation scientifique :

2022-01-22

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of SPIE

Titre de la revue :

Oxide-based Materials and Devices XIII

Éditeur :

SPIE

Date de publication :

2022

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Microfluidics
Deep trench isolation
PolyDiMethylSiloxane
Micro and Nano-technology
Wetting
Surface cleaning
Nondestructive testing
Acoustics

Discipline(s) HAL :

Physique [physics]/Mécanique [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Génie mécanique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Mécanique des fluides [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Matériaux et structures en mécanique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Physique [physics]/Physique [physics]/Dynamique des Fluides [physics.flu-dyn]

Résumé en anglais : [en]

Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between ...
Lire la suite >Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between two materials and especially in the presence of air, which has negligible acoustic impedance, making it possible to achieve very high sensitivity. For several years, we have been using the high frequency acoustic method for the wetting evaluation of nanostructures in our laboratory. In close collaboration with STMicroelectronics company, we deal with the study of wetting state in the context of wet cleaning processes optimization in the microelectronics industry. Within this perspective and in order to reach these very high frequency ranges, ZnO piezoelectric transducers were developed and integrated on samples to be studied. Thanks to a dedicated workbench, the dynamic of the wetting and drying phenomena have been achieved on high-aspect-ratio nanostructures with liquid solutions having different surface tensions.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Commentaire :

oral

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL