Nanostructures wetting evaluation using ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
Titre :
Nanostructures wetting evaluation using ultra high frequency ultrasound
Auteur(s) :
Salhab, Abbas [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Toubal, Malika [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Neyens, Marc [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Toubal, Malika [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Neyens, Marc [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
SPIE OPTO conference 12002, Oxide-based Materials and Devices XIII
Ville :
San Francisco
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2022-01-22
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of SPIE
Titre de la revue :
Oxide-based Materials and Devices XIII
Éditeur :
SPIE
Date de publication :
2022
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Microfluidics
Deep trench isolation
PolyDiMethylSiloxane
Micro and Nano-technology
Wetting
Surface cleaning
Nondestructive testing
Acoustics
Deep trench isolation
PolyDiMethylSiloxane
Micro and Nano-technology
Wetting
Surface cleaning
Nondestructive testing
Acoustics
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Génie mécanique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Mécanique des fluides [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Matériaux et structures en mécanique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Physique [physics]/Physique [physics]/Dynamique des Fluides [physics.flu-dyn]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Génie mécanique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Mécanique des fluides [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Matériaux et structures en mécanique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Physique [physics]/Physique [physics]/Dynamique des Fluides [physics.flu-dyn]
Résumé en anglais : [en]
Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between ...
Lire la suite >Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between two materials and especially in the presence of air, which has negligible acoustic impedance, making it possible to achieve very high sensitivity. For several years, we have been using the high frequency acoustic method for the wetting evaluation of nanostructures in our laboratory. In close collaboration with STMicroelectronics company, we deal with the study of wetting state in the context of wet cleaning processes optimization in the microelectronics industry. Within this perspective and in order to reach these very high frequency ranges, ZnO piezoelectric transducers were developed and integrated on samples to be studied. Thanks to a dedicated workbench, the dynamic of the wetting and drying phenomena have been achieved on high-aspect-ratio nanostructures with liquid solutions having different surface tensions.Lire moins >
Lire la suite >Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between two materials and especially in the presence of air, which has negligible acoustic impedance, making it possible to achieve very high sensitivity. For several years, we have been using the high frequency acoustic method for the wetting evaluation of nanostructures in our laboratory. In close collaboration with STMicroelectronics company, we deal with the study of wetting state in the context of wet cleaning processes optimization in the microelectronics industry. Within this perspective and in order to reach these very high frequency ranges, ZnO piezoelectric transducers were developed and integrated on samples to be studied. Thanks to a dedicated workbench, the dynamic of the wetting and drying phenomena have been achieved on high-aspect-ratio nanostructures with liquid solutions having different surface tensions.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
oral
Source :
Fichiers
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- Manuscript_Nanostructures%20wetting%20evaluation%20using%20Ultra%20High%20frequency%20Ultrasound_AS.pdf
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