Nanostructures wetting evaluation using ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
Title :
Nanostructures wetting evaluation using ultra high frequency ultrasound
Author(s) :
Salhab, Abbas [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Toubal, Malika [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Neyens, Marc [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Toubal, Malika [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Neyens, Marc [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Conference title :
SPIE OPTO conference 12002, Oxide-based Materials and Devices XIII
City :
San Francisco
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2022-01-22
Book title :
Proceedings of SPIE
Journal title :
Oxide-based Materials and Devices XIII
Publisher :
SPIE
Publication date :
2022
English keyword(s) :
Microfluidics
Deep trench isolation
PolyDiMethylSiloxane
Micro and Nano-technology
Wetting
Surface cleaning
Nondestructive testing
Acoustics
Deep trench isolation
PolyDiMethylSiloxane
Micro and Nano-technology
Wetting
Surface cleaning
Nondestructive testing
Acoustics
HAL domain(s) :
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Génie mécanique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Mécanique des fluides [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Matériaux et structures en mécanique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Physique [physics]/Physique [physics]/Dynamique des Fluides [physics.flu-dyn]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Génie mécanique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Mécanique des fluides [physics.class-ph]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Matériaux et structures en mécanique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Physique [physics]/Physique [physics]/Dynamique des Fluides [physics.flu-dyn]
English abstract : [en]
Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between ...
Show more >Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between two materials and especially in the presence of air, which has negligible acoustic impedance, making it possible to achieve very high sensitivity. For several years, we have been using the high frequency acoustic method for the wetting evaluation of nanostructures in our laboratory. In close collaboration with STMicroelectronics company, we deal with the study of wetting state in the context of wet cleaning processes optimization in the microelectronics industry. Within this perspective and in order to reach these very high frequency ranges, ZnO piezoelectric transducers were developed and integrated on samples to be studied. Thanks to a dedicated workbench, the dynamic of the wetting and drying phenomena have been achieved on high-aspect-ratio nanostructures with liquid solutions having different surface tensions.Show less >
Show more >Ultrasounds are a great tool for defects detection particularly for optically non-transparent materials. Hence, working at very high frequency (#GHz) allows the detection of nanoscale contact defects at the interface between two materials and especially in the presence of air, which has negligible acoustic impedance, making it possible to achieve very high sensitivity. For several years, we have been using the high frequency acoustic method for the wetting evaluation of nanostructures in our laboratory. In close collaboration with STMicroelectronics company, we deal with the study of wetting state in the context of wet cleaning processes optimization in the microelectronics industry. Within this perspective and in order to reach these very high frequency ranges, ZnO piezoelectric transducers were developed and integrated on samples to be studied. Thanks to a dedicated workbench, the dynamic of the wetting and drying phenomena have been achieved on high-aspect-ratio nanostructures with liquid solutions having different surface tensions.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Comment :
oral
Source :
Files
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- Manuscript_Nanostructures%20wetting%20evaluation%20using%20Ultra%20High%20frequency%20Ultrasound_AS.pdf
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