Title :

Atomic Layer Deposition of Functional Layers for on Chip 3D Li-Ion All Solid State Microbattery

Author(s) :

Letiche, Manon [Auteur]
Matériaux divisés, interfaces, réactivité, électrochimie [MADIREL]
Eustache, Etienne [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Demortière, Arnaud [Auteur]
Laboratoire réactivité et chimie des solides - UMR CNRS 7314 [LRCS]
de Andrade, Vincent [Auteur]
Laboratoire Educations et Pratiques de Santé [LEPS]
Morgenroth, Laurence [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vaurette, Francois [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Troadec, david [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Lethien, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Advanced Energy Materials

Publisher :

Wiley-VCH Verlag

Publication date :

2016-10-11

ISSN :

1614-6832

English keyword(s) :

Atomic Layer Depostion
solid electrolyte
3D microbattery
double microtube

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL