Title :

High quality factor Hybrid SAW/BAW resonators

Author(s) :

Barsoum, S. [Auteur correspondant]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Hellion, C. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Vermande, E. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Quemper, J.M. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Bousquet, M. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Reinhardt, A. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Laroche, T. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Ballandras, S. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Dubus, Bertrand [Auteur]
Acoustique - IEMN [ACOUSTIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

EFTF/IFCS 2022 - Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium

City :

Paris

Country :

France

Start date of the conference :

2022-04-24

Book title :

2022 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF/IFCS)

Publisher :

IEEE

English keyword(s) :

Hybrid SAW/BAW resonators
High quality factor
AlN

HAL domain(s) :

Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]

English abstract : [en]

We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively ...
Show more >We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively for the pseudo-SAW and pseudo-BAW modes, at frequencies close to 600 MHz and 2.9 GHz.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Comment :

Oral presentation in Session - Surface Acoustic Wave Devices

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL