High quality factor Hybrid SAW/BAW resonators
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
High quality factor Hybrid SAW/BAW resonators
Author(s) :
Barsoum, S. [Auteur correspondant]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Hellion, C. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Vermande, E. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Quemper, J.M. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Bousquet, M. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Reinhardt, A. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Laroche, T. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Ballandras, S. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Dubus, Bertrand [Auteur]
Acoustique - IEMN [ACOUSTIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Hellion, C. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Vermande, E. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Quemper, J.M. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Bousquet, M. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Reinhardt, A. [Auteur]
Minatec
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Laroche, T. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Ballandras, S. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Dubus, Bertrand [Auteur]

Acoustique - IEMN [ACOUSTIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
EFTF/IFCS 2022 - Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2022-04-24
Book title :
2022 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF/IFCS)
Publisher :
IEEE
English keyword(s) :
Hybrid SAW/BAW resonators
High quality factor
AlN
High quality factor
AlN
HAL domain(s) :
Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively ...
Show more >We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively for the pseudo-SAW and pseudo-BAW modes, at frequencies close to 600 MHz and 2.9 GHz.Show less >
Show more >We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively for the pseudo-SAW and pseudo-BAW modes, at frequencies close to 600 MHz and 2.9 GHz.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Comment :
Oral presentation in Session - Surface Acoustic Wave Devices
Source :
Files
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03778679/document
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