[Tutorial] Microfabrication of THz on-wafer ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
[Tutorial] Microfabrication of THz on-wafer calibration kits and nanorobotics on-wafer probing station
Author(s) :
Haddadi, Kamel [Auteur]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN ]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN ]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Book title :
TEMMT Project Training Courses
Publication date :
2022-07-13
English keyword(s) :
Microfabrication
Tutorial
calibration kits
THz
probing station
Tutorial
calibration kits
THz
probing station
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :