Titre :

Silicon Based Suspended Thermometry Device Fabrication for Phonon Ballistic and Coherent Regimes Study

Auteur(s) :

Canosa Diaz, J. [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ikzibane, H. [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Brisuda, B. [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Garcia, C. Polanco [Auteur]
Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux [LITEN]
Saminadayar, L. [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Mingo, N. [Auteur]
Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux [LITEN]
Bourgeois, Olivier [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

PHONONICS 2023: 6th International Conference on Phononic Crystals/Metamaterials/Metasurfaces, Phonon Transport, and Topological Phononics

Ville :

Manchester

Pays :

Royaume-Uni

Date de début de la manifestation scientifique :

2023-06-12

Date de publication :

2023

Discipline(s) HAL :

Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Résumé en anglais : [en]

This works addresses the current experimental gap in thermal transport regimes and phonon transport at low temperatures and small scales. We have fabricated a (SOI based) suspended thermal sensor platform functional from ...
Lire la suite >This works addresses the current experimental gap in thermal transport regimes and phonon transport at low temperatures and small scales. We have fabricated a (SOI based) suspended thermal sensor platform functional from room-T down to 20 mK. The device will be used for the study phonon transport across several Si-based samples like phononic crystals, metamaterials and nanowires.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Gestion de la chaleur dans la limite balistique à l'échelle nanométrique

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL