IMPACT-4, a general two-dimensional multi- ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
IMPACT-4, a general two-dimensional multi- layer process simulator
Author(s) :
Baccus, B. [Auteur]
Collard, Dominique [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Morel, Denis [Auteur]
Collard, Dominique [Auteur]

Dubois, Emmanuel [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Morel, Denis [Auteur]
Conference title :
Simulation of Semiconductor Devices and Processes, Ed. G. Baccarani and M. Rudan
City :
Bologna
Country :
Italie
Start date of the conference :
1988-09
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :