Title :

Fabrication of c-axis LiNbO3 Thin Film for Surface Acoustic Wave Applications

Author(s) :

Bui, Ngoc Kim Thanh [Auteur]
Optoélectronique - IEMN [OPTO - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Smagin, Nikolay [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Oumekloul, Zakariae [Auteur]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Moalla, Rahma [Auteur]
Maudez, William [Auteur]
Wagner, Estelle [Auteur]
Benvenuti, Giacomo [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis [UVHC]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Université Polytechnique Hauts-de-France [UPHF]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

Workshop for multi-functional materials: from synthesis to applications

City :

Valenciennes

Country :

France

Start date of the conference :

2023-06-27

HAL domain(s) :

Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]

English abstract : [en]

Lithium niobate (LN) is an important dielectric and ferroelectric materials, which are widely used in acoustics, optic, and optoelectrical devices. In this study, LN thin film was deposited by CBVD method. A SAW delay line ...
Show more >Lithium niobate (LN) is an important dielectric and ferroelectric materials, which are widely used in acoustics, optic, and optoelectrical devices. In this study, LN thin film was deposited by CBVD method. A SAW delay line and a one-port resonator were fabricated by an e-beam lithography process to investigate the acoustic properties.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL