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Friction driven micromotors with both ...
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Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Friction driven micromotors with both clockwise and counterclockwise rotations
Auteur(s) :
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
17e Congrès Français de Mécanique
Ville :
Troyes
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2005
Date de publication :
2005
Mot(s)-clé(s) en anglais :
MEMS
micromotor
friction
stiction
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]
Résumé en anglais : [en]
This submission presents friction driven angular micro-motors that demonstrate both clockwise (CW) and counter clockwise (CCW) rotations with a single set of mechanical converters. Fabrication technology is based on surface ...
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This submission presents friction driven angular micro-motors that demonstrate both clockwise (CW) and counter clockwise (CCW) rotations with a single set of mechanical converters. Fabrication technology is based on surface micromachining of polycrystalline silicon layers in thin films. Rotor diameter is 125μm and converter vibration is obtained by the use of combdrive actuators. Rotation direction depends on the operating conditions (driving amplitude and frequency of the actuator) that lead to either pure friction or to friction and stiction between the converters and the rotor. Potential applications for driving micro-mechansims will benefit from a high available torque at low speeds.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
Fichiers
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