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A micro-electro-mechanical accelerometer based on gallium nitride on silicon
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2023, 122; 3, 033502Compte-rendu et recension critique d'ouvragetexte intégral -
Gallium nitride MEMS resonators: how residual stress impacts design and performances
Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2018, 24; 1, 371-377Compte-rendu et recension critique d'ouvragetexte intégral