Evaluation of the electrical properties ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Evaluation of the electrical properties of ScAlN/GaN HEMTs grown by ammonia source molecular beam epitaxy
Auteur(s) :
Elias, Caroline [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Chenot, Sebastien [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Bartoli, Florian [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
El-Whibi, Seif [Auteur]
INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum) [INL - I-Lum]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lesecq, Marie [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hugues, Maxime [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Cordier, Yvon [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Chenot, Sebastien [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Bartoli, Florian [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
El-Whibi, Seif [Auteur]
INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum) [INL - I-Lum]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lesecq, Marie [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hugues, Maxime [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Cordier, Yvon [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Université Côte d'Azur [UniCA]
Titre de la manifestation scientifique :
Wocsdice - Exmatec 2023 Conference
Ville :
Palermo
Pays :
Italie
Date de début de la manifestation scientifique :
2023-05-21
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
In this work, the electrical properties of ScAlN/GaN high electron mobility transistor (HEMT) heterostructures grown by ammonia source molecular beam epitaxy are studied. The effect of growth temperature and ScAlN barrier ...
Lire la suite >In this work, the electrical properties of ScAlN/GaN high electron mobility transistor (HEMT) heterostructures grown by ammonia source molecular beam epitaxy are studied. The effect of growth temperature and ScAlN barrier thickness on 2DEG carrier density is investigated with capacitance-voltage measurements. Alloyed ohmic contacts have been developed to evaluate the electron mobility and a first functional transistor is demonstrated.Lire moins >
Lire la suite >In this work, the electrical properties of ScAlN/GaN high electron mobility transistor (HEMT) heterostructures grown by ammonia source molecular beam epitaxy are studied. The effect of growth temperature and ScAlN barrier thickness on 2DEG carrier density is investigated with capacitance-voltage measurements. Alloyed ohmic contacts have been developed to evaluate the electron mobility and a first functional transistor is demonstrated.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Projet ANR :
Source :
Fichiers
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- Evaluation%20of%20the%20electrical%20properties%20of%20ScAlNGaN%20HEMTs%20grown%20by%20ammonia%20source%20molecular%20beam%20epitaxy.pdf
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