Fluorine-based plasma treatment for AlGaN/GaN ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Fluorine-based plasma treatment for AlGaN/GaN e-mode HEMTs and low on-voltage diodes
Author(s) :
Fornasiero, Quentin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Defrance, Nicolas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Lesecq, Marie [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Frayssinet, Eric [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Cordier, Yvon [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Chevalier, Florian [Auteur]
Laboratoire d’Électrotechnique et d’Électronique de Puissance - ULR 2697 [L2EP]
Idir, Nadir [Auteur]
Laboratoire d’Électrotechnique et d’Électronique de Puissance - ULR 2697 [L2EP]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Defrance, Nicolas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Lesecq, Marie [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Frayssinet, Eric [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Cordier, Yvon [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Chevalier, Florian [Auteur]
Laboratoire d’Électrotechnique et d’Électronique de Puissance - ULR 2697 [L2EP]
Idir, Nadir [Auteur]
Laboratoire d’Électrotechnique et d’Électronique de Puissance - ULR 2697 [L2EP]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Conference title :
Wocsdice Exmatec 2021
City :
Bristol (virtual)
Country :
Royaume-Uni
Start date of the conference :
2021-06-14
Journal title :
Proceedings of Wocsdice Exmatec 2021
Publication date :
2021-06-14
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
The onset and pinch-off voltages shift of lateral GaN field-effect rectifier diodes (L-FER) and normally-off HEMTs are studied. It is shown that a short duration of low power SF6 plasma followed by a low temperature annealing ...
Show more >The onset and pinch-off voltages shift of lateral GaN field-effect rectifier diodes (L-FER) and normally-off HEMTs are studied. It is shown that a short duration of low power SF6 plasma followed by a low temperature annealing permits to get an effective and stabilized fluorine ion implantation in the AlGaN barrier, contributing to reduce the back shift of both devices threshold voltages.Show less >
Show more >The onset and pinch-off voltages shift of lateral GaN field-effect rectifier diodes (L-FER) and normally-off HEMTs are studied. It is shown that a short duration of low power SF6 plasma followed by a low temperature annealing permits to get an effective and stabilized fluorine ion implantation in the AlGaN barrier, contributing to reduce the back shift of both devices threshold voltages.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :
Files
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- Fluorine%20based%20plasma%20treatment%20for%20AlGaN%20GaN%20E-mode%20HEMTs%20and%20Low%20On-Voltage%20diodes.pdf
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