Combined scanning microwave and electron microscopy: a novel toolbox for hybrid nanoscale material analysis
[Invited]
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Combined scanning microwave and electron microscopy: a novel toolbox for hybrid nanoscale material analysis
[Invited]
[Invited]
Auteur(s) :
Haddadi, Kamel [Auteur]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haenssler, O. C. [Auteur]
Daffe, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eliet, Sophie [Auteur]
Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN [PCMP - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boyaval, Christophe [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haenssler, O. C. [Auteur]
Daffe, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eliet, Sophie [Auteur]
Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN [PCMP - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boyaval, Christophe [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
IEEE MTT-S International Microwave Workshop Series on Advanced Materials and Processes, IMWS-AMP 2017
Ville :
Pavia
Pays :
Italie
Date de début de la manifestation scientifique :
2017-09-20
Titre de la revue :
Proceedings of 2017 IEEE MTT-S International Microwave Workshop Series on Advanced Materials and Processes, IMWS-AMP 2017
Date de publication :
2017
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé :
A novel toolbox for hybrid nanoscale material characterization is presented. The system consists of a nano-robotic, compact and modular near-field scanning microwave microscope (NSMM) integrated into a high resolution ...
Lire la suite >A novel toolbox for hybrid nanoscale material characterization is presented. The system consists of a nano-robotic, compact and modular near-field scanning microwave microscope (NSMM) integrated into a high resolution scanning electron microscope (SEM). The instrument developed can perform hybrid characterizations by providing simultaneously atomic force, complex microwave impedance and electron microscopy images of material samples with nanometer spatial resolution. By combining the measured data, the system offers unprecedentable capabilities for tackling the issue between spatial resolution and high frequency quantitative measurements.Lire moins >
Lire la suite >A novel toolbox for hybrid nanoscale material characterization is presented. The system consists of a nano-robotic, compact and modular near-field scanning microwave microscope (NSMM) integrated into a high resolution scanning electron microscope (SEM). The instrument developed can perform hybrid characterizations by providing simultaneously atomic force, complex microwave impedance and electron microscopy images of material samples with nanometer spatial resolution. By combining the measured data, the system offers unprecedentable capabilities for tackling the issue between spatial resolution and high frequency quantitative measurements.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Projet ANR :
Source :