Integrated high Q optical cavity on a low ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Integrated high Q optical cavity on a low loss Si suspended waveguide for THz application
Author(s) :
Akiki, Elias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Verstuyft, Mattias [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, Jean-Francois [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kuyken, Bart [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Vanwolleghem, Mathias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Verstuyft, Mattias [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]

Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, Jean-Francois [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kuyken, Bart [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Vanwolleghem, Mathias [Auteur]

Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
French-German THz conference 2019 (FGTC 2019)
City :
Kaiserslautern
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
2019-04-02
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique
English abstract : [en]
A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, ...
Show more >A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, where the air form it cladding. The absence of material as a cladding leads to have ultra-low losses. Another achievement of this work is also presented, where this guiding channel is etched in a way to form a high Q optical cavity.Show less >
Show more >A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, where the air form it cladding. The absence of material as a cladding leads to have ultra-low losses. Another achievement of this work is also presented, where this guiding channel is etched in a way to form a high Q optical cavity.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
European Project :
Source :
Files
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- FGTC_2019_Akiki.pdf
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