Integrated high Q optical cavity on a low ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Integrated high Q optical cavity on a low loss Si suspended waveguide for THz application
Auteur(s) :
Akiki, Elias [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Verstuyft, Mattias [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Vmicro SAS
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Lampin, Jean-Francois [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Kuyken, Bart [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Vanwolleghem, Mathias [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Verstuyft, Mattias [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Vmicro SAS
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Lampin, Jean-Francois [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Kuyken, Bart [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Vanwolleghem, Mathias [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
French-German THz conference 2019 (FGTC 2019)
Ville :
Kaiserslautern
Pays :
Allemagne
Date de début de la manifestation scientifique :
2019-04-02
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique
Résumé en anglais : [en]
A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, ...
Lire la suite >A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, where the air form it cladding. The absence of material as a cladding leads to have ultra-low losses. Another achievement of this work is also presented, where this guiding channel is etched in a way to form a high Q optical cavity.Lire moins >
Lire la suite >A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, where the air form it cladding. The absence of material as a cladding leads to have ultra-low losses. Another achievement of this work is also presented, where this guiding channel is etched in a way to form a high Q optical cavity.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Projet Européen :
Source :
Fichiers
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