Title :

Integrated high Q optical cavity on a low loss Si suspended waveguide for THz application

Author(s) :

Akiki, Elias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Verstuyft, Mattias [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, Jean-Francois [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kuyken, Bart [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Vanwolleghem, Mathias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

French-German THz conference 2019 (FGTC 2019)

City :

Kaiserslautern

Country :

Allemagne

Start date of the conference :

2019-04-02

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique

English abstract : [en]

A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, ...
Show more >A free standing silicon waveguide with very low losses at THz frequencies is presented. By dry etching of an SOI wafer, the guiding channel is formed. This process allows to have a fully suspended Si (silicon) waveguide, where the air form it cladding. The absence of material as a cladding leads to have ultra-low losses. Another achievement of this work is also presented, where this guiding channel is etched in a way to form a high Q optical cavity.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

European Project :

INTERREG TERAFOOD

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL