Optimization of deep rib high speed phase ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
Titre :
Optimization of deep rib high speed phase modulators on 300mm industrial Si-photonics platform
Auteur(s) :
Monfray, Stephane [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Cremer, Sébastien [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Vulliet, Nathalie [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Domengie, Florian [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Jan, Sebastien [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Baille, Francoise [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Boeuf, Frederic [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Cremer, Sébastien [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Vulliet, Nathalie [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Domengie, Florian [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Jan, Sebastien [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Baille, Francoise [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Boeuf, Frederic [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Titre de la manifestation scientifique :
SPIE Photonics Europe, Conference 11364 - Applications of Photonic Technology - Integrated Photonics Platforms: Fundamental Research, Manufacturing and Applications
Ville :
Strasbourg
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2020-04-06
Titre de l’ouvrage :
Proc. SPIE - Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering
Éditeur :
SPIE
Date de publication :
2020-02-14
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Modulators
Silicon Doping
Silicon photonics
Photonics
Waveguides
Modulation
Germanium
Manufacturing
Silicon Doping
Silicon photonics
Photonics
Waveguides
Modulation
Germanium
Manufacturing
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
This paper highlights the optimization of Deep Rib High Speed Phase Modulators for 400G applications thanks to the optimal choice of structure and implants through a Design Of Experiment analysis, including the proposal ...
Lire la suite >This paper highlights the optimization of Deep Rib High Speed Phase Modulators for 400G applications thanks to the optimal choice of structure and implants through a Design Of Experiment analysis, including the proposal of a new Deep Rib HSPM with Z-implants. Results show 1,6dB gain in OMA (Optical Modulation of Amplitude) at the same cutoff frequency (fc=[2Pi*RC]-1) compared to the previous generation [1] with optimized vertical implants, and up to 2,15dB gain vs [1] with the new Z-implant Deep Rib device.Lire moins >
Lire la suite >This paper highlights the optimization of Deep Rib High Speed Phase Modulators for 400G applications thanks to the optimal choice of structure and implants through a Design Of Experiment analysis, including the proposal of a new Deep Rib HSPM with Z-implants. Results show 1,6dB gain in OMA (Optical Modulation of Amplitude) at the same cutoff frequency (fc=[2Pi*RC]-1) compared to the previous generation [1] with optimized vertical implants, and up to 2,15dB gain vs [1] with the new Z-implant Deep Rib device.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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