Low temperature and large area deposition ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Low temperature and large area deposition of nanocrystalline diamond films with distributed antenna array microwave-plasma reactor
Author(s) :
Achard, J. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Rats, D. [Auteur]
Brinza, O. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Tallaire, A. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Mille, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Silva, F. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Provent, Ch. [Auteur]
Gicquel, A. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Rats, D. [Auteur]
Brinza, O. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Tallaire, A. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Mille, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Silva, F. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Provent, Ch. [Auteur]
Gicquel, A. [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Journal title :
Diamond and Related Materials
Pages :
58-65
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2014-08
ISSN :
0925-9635
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Génie des procédés
Sciences de l'ingénieur [physics]/Plasmas
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Génie des procédés
Sciences de l'ingénieur [physics]/Plasmas
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :