Integrated microfluidics based on multi-layered ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Integrated microfluidics based on multi-layered SU-8 for mass spectrometry analysis
Auteur(s) :
Carlier, Julien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Arscott, Steve [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Fourrier, J. [Auteur]
Caron, F. [Auteur]
Service des maladies infectieuses et tropicales [Rouen]
Camart, Jean-Christophe [Auteur]
Druon, C [Auteur]
Tabourier, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
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Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Arscott, Steve [Auteur]
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Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
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Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Fourrier, J. [Auteur]
Caron, F. [Auteur]
Service des maladies infectieuses et tropicales [Rouen]
Camart, Jean-Christophe [Auteur]
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Druon, C [Auteur]
Tabourier, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pagination :
619-624
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2004-04-01
ISSN :
0960-1317
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Bond strength (materials)
Capillary tubes
Fluidics
Hydrodynamics
Mass spectrometry
Photoresistors
Pressure effects
Proteins
Capillary tubes
Fluidics
Hydrodynamics
Mass spectrometry
Photoresistors
Pressure effects
Proteins
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
We present a design for integrated lab-on-chip microsystems dedicated to mass spectrometry analysis based on the fabrication of watertight microchannels for the circulation of liquids. In this paper, we demonstrate how to ...
Lire la suite >We present a design for integrated lab-on-chip microsystems dedicated to mass spectrometry analysis based on the fabrication of watertight microchannels for the circulation of liquids. In this paper, we demonstrate how to fabricate complete polymer microchannels using the negative photoresist SU-8 which has the advantage of being compatible with protein analysis by mass spectrometry. Our method of fabrication requires novel technological steps involving SU-8 multi-layer processing, improved SU-8 adhesion and the use of SU-8 wafer bonding for the watertight closing of the microchannels with a Pyrex wafer. This technique also encompasses the design of various microfluidic elements such as tapered recesses for the housing of capillary tubes allowing the connection of the channels to external systems. Following this, the capillary tubes were used to test the hydrodynamic behaviour of the channels and consequently the efficiency of our technological process in achieving fully watertight structures within our flow rate and pressure specifications.Lire moins >
Lire la suite >We present a design for integrated lab-on-chip microsystems dedicated to mass spectrometry analysis based on the fabrication of watertight microchannels for the circulation of liquids. In this paper, we demonstrate how to fabricate complete polymer microchannels using the negative photoresist SU-8 which has the advantage of being compatible with protein analysis by mass spectrometry. Our method of fabrication requires novel technological steps involving SU-8 multi-layer processing, improved SU-8 adhesion and the use of SU-8 wafer bonding for the watertight closing of the microchannels with a Pyrex wafer. This technique also encompasses the design of various microfluidic elements such as tapered recesses for the housing of capillary tubes allowing the connection of the channels to external systems. Following this, the capillary tubes were used to test the hydrodynamic behaviour of the channels and consequently the efficiency of our technological process in achieving fully watertight structures within our flow rate and pressure specifications.Lire moins >
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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