Diamond/ZnO/LiNbO3 structure for packageless ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Diamond/ZnO/LiNbO3 structure for packageless acoustic wave sensors
Author(s) :
Floer, Cécile [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Moutaouekkil, Mohammed [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Bartoli, Florian [Auteur]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Institut Jean Lamour [IJL]
Mishra, Harshad [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Mcmurtry, Stefan [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Hage-Ali, Sami [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Elmazria, Omar [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Bou Matar Lacaze, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dekkar, Damia [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Baudrillart, Benoit [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Benedic, Fabien [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Zhgoon, Sergei [Auteur]
Aubert, Thierry [Auteur]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Institut Jean Lamour [IJL]
Moutaouekkil, Mohammed [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Bartoli, Florian [Auteur]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Institut Jean Lamour [IJL]
Mishra, Harshad [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Mcmurtry, Stefan [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Hage-Ali, Sami [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Elmazria, Omar [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Bou Matar Lacaze, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dekkar, Damia [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Baudrillart, Benoit [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Benedic, Fabien [Auteur]
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux [LSPM]
Zhgoon, Sergei [Auteur]
Aubert, Thierry [Auteur]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Conference title :
IEEE Sensors
City :
Glasgow
Country :
Royaume-Uni
Start date of the conference :
2017-10-29
English keyword(s) :
packageless sensor
waveguiding layer acoustic wave
diamond
waveguiding layer acoustic wave
diamond
HAL domain(s) :
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
English abstract : [en]
—This paper studies the Diamond/ZnO/LiNbO3 structure, numerically and experimentally, as a candidate for a packageless sensor based on the surface acoustic wave technology. The structure is compared with an AlN/ZnO/LiNbO3 ...
Show more >—This paper studies the Diamond/ZnO/LiNbO3 structure, numerically and experimentally, as a candidate for a packageless sensor based on the surface acoustic wave technology. The structure is compared with an AlN/ZnO/LiNbO3 structure, in order to highlight better performances of diamond with respect to AlN. Early experimental results of nanocrystalline diamond growth on ZnO/Si are presented.Show less >
Show more >—This paper studies the Diamond/ZnO/LiNbO3 structure, numerically and experimentally, as a candidate for a packageless sensor based on the surface acoustic wave technology. The structure is compared with an AlN/ZnO/LiNbO3 structure, in order to highlight better performances of diamond with respect to AlN. Early experimental results of nanocrystalline diamond growth on ZnO/Si are presented.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
ANR Project :
Source :
Files
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