Système pour détecter des réponses d'un ...
Type de document :
Brevet
Titre :
Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS)
Auteur(s) :
Tanbakuchi, H. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Ducatteau, D. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Ducatteau, D. [Auteur]
Date de publication :
2013-07-05
Numéro du brevet :
FR2985251 (A1)
Langue :
Français
Commentaire :
n° de priorité : FR20120050066 20120104 ; également publié en tant que : US2013169341 (A1) 2013-07-04 ; GB2498251 (A) 2013-07-10
Source :