Actuation and sensing integration challenges ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Actuation and sensing integration challenges at the microscale : the Gordian Knot of the resonant bioMEMS realm
Author(s) :
Nicu, Liviu [Auteur]
Alava, Thomas [Auteur]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Ayela, Cédric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Alava, Thomas [Auteur]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Ayela, Cédric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]

Remiens, Denis [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
64th IEEE International Frequency Control Symposium, FCS 2010
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2010
Book title :
Proceedings of the 64th IEEE International Frequency Control Symposium, FCS 2010
Publication date :
2010
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :