Piezoelectric-actuated, piezoresistive-sensed ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Title :
Piezoelectric-actuated, piezoresistive-sensed circular micromembranes for label-free biosensing applications
Author(s) :
Alava, Thomas [Auteur]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Rameil, P. [Auteur]
Morel, Y. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Rameil, P. [Auteur]
Morel, Y. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
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Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
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Nicu, Liviu [Auteur]
Journal title :
Applied Physics Letters
Pages :
093703-1-3
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2010
ISSN :
0003-6951
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
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